真空泵溫度太高：被抽氣體溫度過高，應讓氣體冷卻後再進入真空泵内。吸入硬物使真空泵體磨損，應拆開真空泵除去硬物，對劃傷部件進行修複或更換。真空泵冷卻水流最不夠，應加大冷卻水流量。裝配不當，使轉子軸心位移，造成單面磨損，應拆開檢查并重新裝配。

　　真空泵油有問題：油位過低，應加足油量到油标中心線。油被沾污，油質變壞，應更換新油。油的牌号不符，應換規定牌号的真空泵油。油路不通，真空泵腔内沒有保持适當的油量，應檢查油路及油閥的進油量，保持油路暢通。

　　真空泵本身漏氣：密封圈漏氣，應檢查所有密封部位的密封情況，更換破損的密封圈。氣鎮閥墊圈損壞或未擰緊，應更換墊圈并擰緊氣鎮閥。排氣閥片損壞，密封不好，應更換氣閥片。真空泵中隔闆壓入時過盈量太大，造成真空泵腔變形而漏氣，應修整真空泵腔或更換。由于真空泵的端面油密封不良造成漏氣，應拆開端蓋，檢查是否有雜物或不平整，并進行清洗或修理。進氣口的過濾網被堵塞，應取下過濾網清洗幹淨，再裝上去。