真空泵密封不嚴：擰緊所有的聯接螺栓，擰緊填料壓蓋，緊緊地包纏管道及儀表與其它部件連接的地方。或者更換墊片、填料。對于空氣洩漏之處，還可以塗上油石灰等作為臨時的補救措施。

　　軸承歪斜：這種現象使葉輪傾斜地裝在泵體中。對于單作用泵而言，其軸向間隙不均勻，葉豔旋轉時，必然會有一部分與側蓋摩擦，擦傷側蓋和葉輪端面，使軸向間隙增大。壓縮腔氣體在通過增大了的間隙時，大量地洩漏到吸入腔裡去，使真空度或排氣壓力降低。這時就要将軸承拆下來進行修理，然後再進行正确地安裝。
　　前後側蓋不同心：可能真空泵的前後側蓋有着較大的不同軸度，後果與軸承歪斜的相同。
　　真空泵發熱：真空泵溫度升高，飽和蒸汽壓也随之升高，這樣就會降低真空度，但這對排氣壓力是沒有什麼影響的。